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江頭 峻輝 and 黒河 周平 and 土肥 俊郎 and 大西 修 and 畝田 道雄 and 越山 勇 and 市川 大造,1003 耐圧密閉チャンバー型CMP装置による加工雰囲気制御下での難加工材料の加工特性 : 元素分析による研磨特性の評価(生産加工・工作機械1),日本機械学会九州支部講演論文集,2424-2780,一般社団法人 日本機械学会,2013,2013.66,0,319-320,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680843299840,https://doi.org/10.1299/jsmekyushu.2013.66.319