著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
豊田 洋通 and 野村 信福 and 向笠 忍,D113 液中プラズマプロセスを用いた化合物半導体形成法(プラズマ利用技術の進展I),熱工学コンファレンス講演論文集,2424-290X,一般社団法人 日本機械学会,2009,2009,0,95-96,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680857723520,https://doi.org/10.1299/jsmeted.2009.95