著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
中田 義朗 and 三宅 直己 and 涌井 正幸 and 持沢 正人 and 依田 健司,C132 蒸発潜熱冷却を用いた15kW発熱300mm半導体ウェーハの温調装置開発(OS-7:電子機器における熱流動現象(III)),熱工学コンファレンス講演論文集,2424-290X,一般社団法人 日本機械学会,2010,2010,0,79-80,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680858554240,https://doi.org/10.1299/jsmeted.2010.79