著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
若山 剛 and 南部 健一,111 二周波励起容量結合プラズマにおける基板入射イオンの速度分布関数(O.S.1-3 プラズマ(2))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ),流体工学部門講演会講演論文集,2424-2896,一般社団法人 日本機械学会,2001,2001,0,15,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680861060480,https://doi.org/10.1299/jsmefed.2001.15