著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
畝田 道雄 and 高橋 佳宏 and 澁谷 和孝 and 中村 由夫 and 市川 大造 and 石川 憲一,212 Si-CMPの研磨レートに及ぼす要因分析(セッション7 機械の評価),評価・診断に関するシンポジウム講演論文集,2424-3027,一般社団法人 日本機械学会,2013,2013.12,0,119-121,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680866896896,https://doi.org/10.1299/jsmesed.2013.12.119