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森田 晋也 and 石川 惣一 and 鈴木 亨 and 上原 嘉宏 and 片平 和俊 and 林 偉民 and 大森 整 and 竹内 芳美,119 サブミクロン回折格子の超精密マイクロ切削加工,生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,2424-3094,一般社団法人 日本機械学会,2002,2002.4,0,193-194,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680875835776,https://doi.org/10.1299/jsmemmt.2002.4.193