著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐竹 うらら and 榎本 俊之 and 廣瀬 研二 and 藤井 慶太郎,C33 シリコンウェーハ研磨加工におけるグローバルフラットネスとエッジサイトフラットネス(OS10 研磨技術(2)),生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会,2424-3094,一般社団法人 日本機械学会,2014,2014.10,0,181-182,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680877713536,https://doi.org/10.1299/jsmemmt.2014.10.181