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山本 泰之 and 山本 智子 and 松本 壮平 and 藪野 浩司 and 黒田 雅治 and 藤井 賢一,6-2 二重渦巻き形状のMEMS粘度センサの開発(セッション6:マイクロ物理センサ),マイクロ・ナノ工学シンポジウム,2432-9495,一般社団法人 日本機械学会,2011,2011.3,0,61-62,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680878252416,https://doi.org/10.1299/jsmemnm.2011.3.61