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和田 拓也 and 鈴木 昌人 and 高橋 智一 and 西田 敏夫 and 吉川 泰弘 and 青柳 誠司,OS4-1-7 高表面電荷密度の狭ピッチ櫛歯状エレクトレットフィルムの作製 : 電荷注入済みCYTOPフィルムへのエキシマ・レーザビーム照射による静電反発現象の回避(OS4 電池レス・デバイスのためのエネルギーハーベストの展開),マイクロ・ナノ工学シンポジウム,2432-9495,一般社団法人 日本機械学会,2012,2012.4,0,103-104,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680878291968,https://doi.org/10.1299/jsmemnm.2012.4.103