著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
永吉 径 and 神谷 庄司 and ガスパー ジョアオ and ポール オリバー,T0302-1-2 ボッシュプロセスで作製されたMEMS構造体の強度設計法に関する基礎的研究([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労),年次大会講演論文集,2433-1325,一般社団法人 日本機械学会,2010,2010.8,0,245-246,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681042680448,https://doi.org/10.1299/jsmemecjo.2010.8.0_245