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古賀 康史 and 小野 佑一,モノシラン法シリコンエピタクシの速度論 : 結晶成長,日本物理学会年会講演予稿集,2433-1163,一般社団法人 日本物理学会,1969,24.5,0,267,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681150677760,https://doi.org/10.11316/jpsgaiyoi.24.5.0_267_2