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南日 康夫,高真空でのシリコンエピタキシアル成長 : 結晶生長,日本物理学会春季分科会講演予稿集,2433-1120,一般社団法人 日本物理学会,1964,1964.2,0,116,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681190969216,https://doi.org/10.11316/jpsgaiyob.1964.2.0_116