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長谷川 裕之 and 塚本 真也 and 鈴木 哲也,セラミック窒化物薄膜の微小硬度および微細構造変化,高温学会誌,03871096,一般社団法人 スマートプロセス学会 （旧高温学会）,2007,33,2,78-83,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681407164288,https://doi.org/10.7791/jhts.33.78