著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
齋藤 玲子 and 牧野 伸顕 and 一戸 裕司 and 星 孝弘 and 工藤 正博,ＴＯＦ‐ＳＩＭＳによるＵＶ照射したフォトレジスト表面の化学構造変化の評価,表面科学,0388-5321,公益社団法人 日本表面科学会,1998,19,7,428-432,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681431603072,https://doi.org/10.1380/jsssj.19.428