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大平 圭介 and THI Trinh Cham and 及川 貴史 and 瀨戸 純一 and 小山 晃一 and 松村 英樹,触媒化学気相堆積（Cat-CVD）法による太陽電池用高品質パッシベーション膜の形成,表面科学,03885321,公益社団法人 日本表面科学会,2017,38,5,234-239,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681436077568,https://doi.org/10.1380/jsssj.38.234