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小笠原 直樹 and 岡崎 禎子 and 斉藤 千尋 and 古屋 泰文,磁場駆動型小型マイクロガスバルブの開発,日本金属学会誌,00214876,公益社団法人 日本金属学会,2009,73,10,759-763,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681454448000,https://doi.org/10.2320/jinstmet.73.759