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田代 優 and 門田 裕行 and 伊藤 雅彦 and 打越 雅仁 and 三村 耕司 and 一色 実 and 大貫 仁,高純度めっき材料を用いた低抵抗率Ｃｕ配線形成プロセスの８インチウエハによる検証,日本金属学会誌,00214876,公益社団法人 日本金属学会,2011,75,7,386-391,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681457789440,https://doi.org/10.2320/jinstmet.75.386