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作田 忠裕 and 田中 康規 and 香月 真 and 石垣 隆正,パルス変調された高周波誘導熱プラズマの発生,日本金属学会誌,00214876,公益社団法人 日本金属学会,1999,63,1,2-8,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681467833472,https://doi.org/10.2320/jinstmet1952.63.1_2