著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
斧 高一,多様なＰＳＩ現象 ３ プラズマプロセス装置におけるプラズマ・表面相互作用 ３．１ プラズマエッチング,プラズマ・核融合学会誌,09187928,社団法人 プラズマ・核融合学会,1999,75,4,350-363,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681489896064,https://doi.org/10.1585/jspf.75.350