著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 高谷 裕浩,超高精度微細加工への挑戦 制御と計測 液晶光造形法によるマイクロ3次元形状加工,計測と制御,04534662,公益社団法人 計測自動制御学会,2002,41,11,803-806,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681494116608,https://doi.org/10.11499/sicejl1962.41.803