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後藤 洋介 and 船坂 知宏 and 山本 雅史 and 小池 国彦 and 堀邊 英夫,湿潤オゾンを用いたレジスト除去反応の活性化エネルギー評価,高分子論文集,03862186,公益社団法人 高分子学会,2013,70,6,295-299,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681501042304,https://doi.org/10.1295/koron.70.295