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高橋 幹雄 and 吉野 博 and 呂 俊民,恒温式クリーンルームにおける精密温度制御に関する実験的研究,空気調和・衛生工学会 論文集,0385275X,公益社団法人 空気調和・衛生工学会,1999,24,75,1-11,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681523683456,https://doi.org/10.18948/shase.24.75_1