著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 原田 勢那 and 佐竹 うらら and 榎本 俊之 and 尾林 勇眞,研磨パッドの粘弾性特性に着目したエッジ・ロールオフの抑制,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2019-03-01,2019S,0,121-122,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282752322723328,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019s.0_121