著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
中神 宏崇 and 松尾 篤樹 and 久保田 章亀,マイクロ/ナノバブルを利用したウエット研磨法によるダイヤモンド基板の平坦化,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2019-03-01,2019S,0,132-133,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282752323066368,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019s.0_132