著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
猪股 順 and 北条 勤 and 原 努 and 平田 真央,孔を拡散により通過する気体量の解析,日本表面真空学会学術講演会要旨集,2434-8589,公益社団法人 日本表面真空学会,2019,2019,0,3Fp11,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282752353060736,https://doi.org/10.14886/jvss.2019.0_3fp11