著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
菊地 克弥,AI・IoT時代に向けた三次元集積実装技術の研究開発,表面と真空,24335835,公益社団法人 日本表面真空学会,2019-11-10,62,11,666-671,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282752368019712,https://doi.org/10.1380/vss.62.666