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森岡 祐貴 and 平野 嵩 and 松村 正太郎 and 大坂 泰斗 and 佐野 泰久 and 矢橋 牧名 and 山内 和人,X線モノクロメータ用Ge単結晶に対する大気圧プラズマを用いた無歪みエッチングの加工特性評価,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2018-08-20,2018A,0,667-667,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282763101375488,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2018a.0_667