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辻 一樹 and 阿部 喜 and 清水 智巨 and 長谷川 博康 and 峯田 貴,マイクロピンとフレーム構造を一括形成した触覚ディスプレイ用Ni薄膜平型ばねの作製と剛性評価,機械材料・材料加工技術講演会講演論文集,2424-287X,一般社団法人 日本機械学会,2018,2018.26,0,925,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282763115987456,https://doi.org/10.1299/jsmemp.2018.26.925