著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
亀田 直人 and 三浦 敏徳 and 森川 良樹 and 花倉 満 and 中村 健 and 野中 秀彦,高純度オゾンガスとエチレンガス由来の活性種を用いた新たな低温成膜法,表面と真空,24335835,公益社団法人 日本表面真空学会,2019-07-10,62,7,433-438,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282763129154304,https://doi.org/10.1380/vss.62.433