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種子田 浩志 and 東丸 幸江 and 清 文博 and 河野 慶彦 and 野口 大輔,RF酸素プラズマ照射を特長とした併用式スパッタ法によるTa2O5固体電解質薄膜の作製,都城工業高等専門学校研究報告,0286116X,独立行政法人 国立高等専門学校機構 都城工業高等専門学校,2012,46,0,23-32,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390283659866262272,https://doi.org/10.24461/miyako.46.0_23