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INOUE Soichi and SAKURAI Junpei,Gravure & Interview 精密工学の最前線 光リソグラフィの解像度の限界解像度を超えるナノインプリント技術開発 : キオクシア株式会社,Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,The Japan Society for Precision Engineering,2020-04-05,86,4,239-242,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390283659869208064,https://doi.org/10.2493/jjspe.86.239