著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 堤 博貴 and 上島 雄高,X-Z駆動機構を用いたインチワーム式ピエゾステージの開発,マイクロメカトロニクス,13438565,一般社団法人 日本時計学会,2018-06-15,62,218,23-30,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390285300163835776,https://doi.org/10.20805/micromechatronics.62.218_23