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千葉 翔悟 and 久住 孝幸 and 赤上 陽一 and 野老山 貴行 and 村岡 幹夫,樹脂パッドと電界砥粒制御技術を適用した先進結晶基板への低ダメージ機械研磨技術,砥粒加工学会誌,09142703,社団法人 砥粒加工学会,2020-01-01,64,1,32-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390286426513461760,https://doi.org/10.11420/jsat.64.32