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Saito Ryo and Kimura Yusuke and Xu Jiale and Mineta Takashi,Fabrication of Tactile Display Mechanism Using Arrayed SMA Thick Film Actuator and Si TSV Layer with Individually Connecting Diode,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2021-07-01,141,7,260-264,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390288547259561984,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.141.260