著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
馬 智達 and 増本 晴文 and 川合 健太郎 and 山村 和也 and 有馬 健太,自己組織的に形成したAgナノワイヤをテンプレートとしたSi表面上へのナノ溝形成,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2021-03-03,2021S,0,836-837,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390289254684763520,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021s.0_836