著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
渡邊 健夫,特集記事（EUV）： 極端紫外線リソグラフィーの現状・課題・今後の展開,放射線化学,2188-0115,日本放射線化学会,2018,106,0,9,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390289920604129152,https://doi.org/10.32157/jsrc.106.0_9