著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
ベルナール ・パコ and 土肥 俊郎 and 植木 由佳子 and エマニエル ・ロアート,セリアスラリーによる酸化膜の平坦化CMPに関する基礎的検討,"埼玉大学地域共同研究センター紀要 = Report of Cooperative Research Center, Saitama Univerity",1347-4758,埼玉大学地域共同研究センター,2004,4,,14-17,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390290699790478976,https://doi.org/10.24561/00016685