著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
辻 正治 and 西村 幸雄,放電フロー型ケミカルドライエッチング装置の試作,九州大学機能物質科学研究所報告,09143793,九州大学機能物質科学研究所,1997-07-25,11,1,17-21,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390290699812233984,https://doi.org/10.15017/7865