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伊庭 由季乃 and 正直 花奈子 and 窪谷 茂幸 and 上杉 謙次郎 and 肖 世玉 and 三宅 秀人,ナノパターンを有するスパッタ・アニール法AlNテンプレート上へのAlNのMOVPE成長,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-08-26,2020.2,0,2098-2098,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390291932663569024,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_2098