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佐保 勇樹 and 高田 賢志 and 吉村 武 and 藤村 紀文,成長時の酸素分圧がHfO<sub>2</sub>:Y/Si薄膜の結晶構造や誘電特性に及ぼす影響,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-02-28,2020.1,0,1223-1223,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390292240175063168,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1223