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李 宗恩 and トープラサートポン カシディット and 竹中 充 and 高木 信一,Defect control of Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-based SiGe MOS interfaces properties,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,2276-2276,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390292472549373952,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2276