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ハーバート 甲斐 and 柴田 和樹 and アスバル ジョエル and 葛原 正明,GaNへのMgイオン注入におけるリコイルN原子の影響,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,2412-2412,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390292472549398144,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2412