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志村 礼司郎 and 三村 和仙 and 舘山 明紀 and 清水 荘雄 and 白石 貴久 and 舟窪 浩,スパッタリング法によるY-HZO強誘電体厚膜の室温製膜とその電気特性および圧電特性評価,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,1191-1191,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390292472565298304,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1191