炭化水素分子イオン注入領域における銅ゲッタリングに対する3次元アトムプローブを用いた酸素の影響解析
書誌事項
- タイトル別名
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- Oxygen Effect Analysis of Copper Gettering in Hydrocarbon Molecular Ion Impanted Region Using Atom Probe Tomography
- 公開日
- 2019-09-04
- DOI
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- 10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3676
- 公開者
- 公益社団法人 応用物理学会
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3676-3676, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会