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沈 旭強 and 児島 一聡 and 奥村 元,アンモニアフリー高温有機金属気相成長法における高品質AlN成長,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2019-09-04,2019.2,0,3466-3466,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390292815277174144,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3466