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柴原 啓太 and 上野 耕平 and 小林 篤 and 藤岡 洋,スパッタリング法により形成したp型GaN薄膜の深い準位の評価,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2019-02-25,2019.1,0,3193-3193,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390293202186030592,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_3193