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櫻井 悠也 and 上野 耕平 and 小林 篤 and 上杉 謙次郎 and 三宅 秀人 and 藤岡 洋,スパッタ法により形成したサファイア上SiドープAlNの電気特性,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2019-02-25,2019.1,0,3187-3187,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390293202186102784,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_3187