著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
永野 朝日 and 北村 奏人 and 野田 周一 and 村上 直 and 井口 航平 and クンプアン ソマワン and 原 史朗,ハーフインチ水晶ウエハ上へ成膜したAlN薄膜上への弾性表面波デバイスアレイの作製,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,1341-8939,一般社団法人 電気学会,2022-09-01,142,9,248-253,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390293268648894336,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.142.248