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中野 元太 and 中嶋 宇史 and 橋爪 洋一郎 and 岡村 総一郎,混合前駆体原料を用いたMOCVD法によるHfZrO<sub>2</sub>極薄膜の作製 ... ...,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2018-09-05,2018.2,0,1331-1331,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390293434337253760,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1331