著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
廣田 義人,半導体露光装置ステッパーの開発，普及とその要因,技術と文明,09113525,日本産業技術史学会,2001-08-25,12,2,27-52,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390294562484102784,https://doi.org/10.57381/jshit.12.2_27